1、直線度測(cè)量原理
      雙頻激光測(cè)頭輸出光經(jīng)過直線度干涉鏡，按偏振態(tài)被分成兩束，以一定角度發(fā)散后入射到直線度反射鏡。光束從直線度反射鏡返回，沿新光路回到直線度干涉鏡后，合成一束回到光線接收端，進(jìn)行干涉測(cè)量。
通過檢測(cè)光路與干涉鏡和反射鏡之間的橫向位移，就可以得到導(dǎo)軌相對(duì)于激光光路參考線的直線度誤差。直線度可以在水平面或垂直面上進(jìn)行，這取決于直線度干涉鏡和反射鏡的布置，如下圖所示。

2、數(shù)據(jù)采集和處理
      數(shù)據(jù)采集方法：使待測(cè)機(jī)床軸移動(dòng)到若干個(gè)不同位置（或“目標(biāo)”），然后測(cè)量直線度誤差?？梢詮囊粋€(gè)目標(biāo)位置移動(dòng)到下一個(gè)目標(biāo)位置時(shí)，暫停幾秒，在此過程中進(jìn)行測(cè)量。
3、直線度測(cè)量用組件
      直線度測(cè)量用到的激光干涉儀組件：
      激光干涉儀測(cè)頭、直線度光學(xué)鏡組、直線度測(cè)量附件、Leice Measure測(cè)量軟件、Leice Analysis 分析軟件。
4、直線度測(cè)量應(yīng)用
      數(shù)控機(jī)床/坐標(biāo)測(cè)量機(jī)主軸直線度誤差測(cè)量
      機(jī)床/直線電機(jī)導(dǎo)軌直線度測(cè)量
      機(jī)床工作臺(tái)直線度測(cè)量
      動(dòng)態(tài)直線度測(cè)量