激光干涉儀主要用于數(shù)控設備精度檢測、定位精度、反向間隙、導軌線性誤差檢測等。該系統(tǒng)可以測量和分析動態(tài)性能，如速度、加速度、振動和爬行。

激光干涉儀特點：

1、機床外部方便、安全，電纜拖拉不影響光學鏡面。

2、高精度測量可在接通電源5分鐘后進行。

3、所有光學元件的外殼都是陽極硬化鋁合金，重量輕，堅固耐用。

4、國際標準激光波長的可追溯性是利用干涉原理測量所有激光測量功能。

5、重復測量和分析數(shù)控機床的定位精度和反向間隙；

6、ISO230-2/VDI341/JIS330/GB1091等標準分析數(shù)據(jù)；

7、根據(jù)用戶選擇的補償方法，手動補償數(shù)控機床的螺距誤差；

8、配有Fanuc、Siemens等數(shù)控系統(tǒng)的數(shù)控機床，測量運動程序；

9、可以自動監(jiān)測環(huán)境空氣溫度、濕度、氣壓等參數(shù)；

10、動態(tài)測量振幅和頻譜(位移-時間曲線-時間曲線，加速度-時間曲線)。

11、長期激光頻率穩(wěn)定性為0.05ppm。

12、線性測量范圍為0-40米。

13、微米分辨率：0.001。

14、速度：≥每秒4米。

15、測速精度±0.05%。

以上就是小編今日為大家介紹的激光干涉儀特點，感謝大家耐心的閱讀！