激光干涉儀采用激光干涉法測量，可快速、高精度測量，可作為校驗(yàn)臺(tái)、坐標(biāo)測量機(jī)等定位設(shè)備精度和線性指標(biāo)Z的常用標(biāo)準(zhǔn)儀器，掌握一些激光干涉儀的使用技巧，使測量工作事半功倍。

在實(shí)用激光干涉儀中，應(yīng)確定每個(gè)測量應(yīng)用程序的真實(shí)精度，以確保測量數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性和可靠性。由于激光干涉系統(tǒng)的測量讀數(shù)Z的值與激光波長有關(guān)，激光頻率的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性是激光干涉測量精度的保證。此外，環(huán)境條件補(bǔ)償系統(tǒng)（壓力、溫）測量系統(tǒng)的準(zhǔn)確性直接影響到Z終端的測量精度。

綜上所述，影響激光干涉儀測量精度的主要因素有:①激光頻率(波長)和頻率穩(wěn)定性；②測量軟件系統(tǒng)引起的誤差；③反射鏡。角錐棱角誤差；④溫濕度。壓力傳感器誤差；當(dāng)然，測量工作的準(zhǔn)確性與測量人員、現(xiàn)場環(huán)境條件等因素有關(guān)。

激光干涉儀的使用注意事項(xiàng)。

1、激光干涉測試儀必須由專人保管，機(jī)械技術(shù)組必須由專人檢查，其他人不得隨意使用，以防損壞，降低精度。

2、激光干涉儀應(yīng)設(shè)置專用倉庫，環(huán)境要求干燥、通風(fēng)、防震、防霧、防塵、防銹。儀器必須保持干燥。所有儀器都不能被壓制。當(dāng)受潮或溫度過高時(shí)，儀表箱不能靠近爐子或加熱管。

3、小心輕放置激光干涉儀，避免強(qiáng)沖擊振動(dòng)。放置儀器前，檢查腳架是否牢固。員工在整個(gè)操作過程中不得離開儀器，以防發(fā)生事故。

4、當(dāng)溫度變化較大且有風(fēng)時(shí)，應(yīng)避免激光干擾。在潮濕的環(huán)境中，這一過程將對測試結(jié)果產(chǎn)生重大影響。